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本書共分15章：內容主要包括：RF MEMS器件的靜態、動態和電磁模型；MEMS開關的制備、封閉、可靠性及功率處理能力；MEMS開關的電路設計；MEMS移相器、變容器、可調諧 振蕩器和電感器；可重構的MEMS網絡、濾波器、天線和子系統；MEMS電路、稱相器和振蕩器的相噪聲分析；同時介紹了RF MEMS開關的應用領域、國際RF MEMS 研究進展及未來的發展方向。
本書取材廣泛、內容深刻，是本領域的權威著作。適合微電子技術、微波技術、微機電系統技術領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀。

1 微波應用的RF MEMS導論
1.1 RF MEMS的起源
1.2 RF MEMS的構造
1.3 RF MEMS開關和GaAs PIN二極管及晶體管開關比較
1.4 RF MEMS的應用領域
1.5 RF MEMS實例研究
1.6 國際RF MEMS的研究狀況
1.7 RF MEMS與Si或GaAs電路的集成
1.8 線性度和互調分量
1.9 氣密或非氣密封裝
1.10 功率處理能力和可靠性
參考文獻
2 MEMS器件的力學模型：靜態特性分析
2.1 固支梁的彈性系數
2.2 低K梁的彈性系數
2.3 懸臂梁的彈性系數
2.4 圓膜的彈性系數
2.5 應用梯度引起梁彎曲
2.6 靜電激勵
2.7 靜電激勵下變形梁的形狀
2.8 MEMS固支梁與懸臂的直流對緊維持電壓
2.9 作用在MEMS梁上的力
2.10 MEMS電容開關的自激勵現象
2.11 MEMS電容開關的RF壓緊維持電壓
2.12 模擬模式中的電容比
2.13 靜電激勵梁的穩定性
2.14 MEMS器件中的電壓擊穿
2.15 溫度變化的影響
2.16 加速度力和聲波力的影響
2.17 MEMS分析軟件
3 MEMS器件的力學模型：動態特性分析
……
4 MEMS開關的電磁模型
5 MEMS開關庫
6 MEMS開關的加工和封裝
7 MEMS開關可靠性與功率處理能力
8 MEMS開關電路的設計
9 MEMS移相器
10 分布式MEMS移相器和開關
11 MEMS變容器和可調振蕩器
12 微機械電感
13 可重構MEMS網絡、濾波器、天線和子系統
14 MEMS移相器和振蕩相位噪聲的分析
15 RF MEMS需進一步研究的工作
附錄
參考文獻