| 資料語言： | 簡體中文 |
| 資料類別： | Office文檔 |
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| 更新時間： | 2014-03-18 16:42:17 |
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隨著信息技術的高速發展，現有微波頻譜日益擁擠，更高工作頻率及更寬工作頻帶的系統研究已經受到世界各國的關注并取得了一定的進展。
隨著毫米波雷達、毫米波制導和毫米波通信等系統的發展以及對小型化、高性能的需求, 系統集成化、單片化技術已經成為各國目前的研究熱點。
利用MEMS 工藝制作的毫米波無源器件，具備小體積、高性能、一致性好且可以與常規 MMIC 工藝相兼容等優點，成為解決單片毫米波收發組件的最佳手段。
本文介紹了MEMS毫米波濾波器的結構、原理，以及MEMS毫米波濾波器的工藝流程
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