GT Advanced推出碳化硅爐新產(chǎn)品線
GT Advanced Technologies日前推出其新型SiClone100碳化硅(SiC)生產(chǎn)爐。SiClone100采用升華生長(zhǎng)技術(shù),能生產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體SiC晶體塊,可最終制成最大直徑為100毫米的芯片。在其初步階段,SiClone100主要針對(duì)本身已經(jīng)擁有熱場(chǎng)、合格的晶體塊生產(chǎn)配方及正準(zhǔn)備開(kāi)始量產(chǎn)的客戶(hù)。
GT的總裁兼首席執(zhí)行官Tom Gutierrez表示,GT新推出的SiClone100爐將解決電力電子行業(yè)對(duì)更高質(zhì)量SiC材料的需求,這些材料將用于生產(chǎn)先進(jìn)的高功率及高頻設(shè)備。SiClone100為GT的SiC產(chǎn)品藍(lán)圖奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),根據(jù)藍(lán)圖預(yù)計(jì)在未來(lái)向客戶(hù)提供可生產(chǎn)八英寸SiC芯片的完整生產(chǎn)環(huán)境,包括配方、熱場(chǎng)及耗材。
GT利用其在晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域深入的專(zhuān)業(yè)知識(shí),為正在尋求“從實(shí)驗(yàn)室向工廠轉(zhuǎn)化”的客戶(hù)提供高度可靠及經(jīng)驗(yàn)證的平臺(tái),幫助客戶(hù)開(kāi)始量產(chǎn)SiC晶體塊。SiClone100爐裝備有最先進(jìn)的控制系統(tǒng),通過(guò)將爐電子與人機(jī)接口(HMI)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)過(guò)程的自動(dòng)化。
SiClone100采用底部灌裝設(shè)計(jì),從而令熱場(chǎng)灌裝變得簡(jiǎn)單??刂葡到y(tǒng)為用戶(hù)帶來(lái)更大的靈活性,用戶(hù)可根據(jù)需要制定過(guò)程配方及控制生產(chǎn)參數(shù),例如溫度、剖面、斜度及氣流,從而改善持續(xù)運(yùn)行的控制重復(fù)性,最終降低制造成本。