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射頻源控制信號(hào)模擬器的設(shè)計(jì)與應(yīng)用
摘要:熟悉微電子工藝設(shè)備的人都知道,射頻源(RFGENERATER)是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備,其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備。 熟...
發(fā)布時(shí)間:2011-03-06關(guān)鍵詞:射頻源,信號(hào)模擬器
摘要:熟悉微電子工藝設(shè)備的人都知道,射頻源(RFGENERATER)是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備,其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備。 熟...
射頻器件選型工具:射頻連接器 轉(zhuǎn)接器/旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié) 隔直器/偏置器 負(fù)載/終端 衰減器 功分器/合路器 耦合器/電橋/巴倫 波同轉(zhuǎn)換器 連接波導(dǎo) 喇叭天線 力矩扳手
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