物理學報  2002, Vol. 51  Issue (2): 347-350

楊仕娥, 姚寧, 王小平, 李會軍, 馬丙現, 秦廣雍, 張兵臨
鄭州大學物理工程學院,鄭州450052

摘要： 采用Mo離子注入工藝對YG6硬質合金基體表面進行處理,用微波等離子體CVD(MPCVD)法沉積金剛石涂層,研究了Mo離子注入工藝對金剛石涂層附著性能的影響.結果表明,Mo離子注入后,硬質合金基體表面的化學成分發生了明顯變化;采用適當劑量的Mo離子注入基體,可使CVD金剛石涂層的附著性能顯著提高.

引用本文:   
楊仕娥,姚寧,王小平 等 . Mo離子注入對金剛石涂層附著性能的影響. 物理學報, 2002, 51(2): 350. 
Cite this article:   
$author.xingMing_EN,$author.xingMing_EN,$author.xingMing_EN et al. . Acta Phys. Sin., 2002, 51(2): 347-350. 

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