射頻MEMS技術是近年來發展迅速的高新技術，它具有微型化、低損耗、可集成、成本低等特點，用它實現相關射頻器件或系統可為無線通信技術帶來新的變化。本論文受重慶市教育委員會科學技術研究項目“基于復合腔結構MEMS諧振器、濾波器應用研究”(No．020508)支持，主要研究了射頻MEMS諧振器、濾波器相關的基礎理論及其器件設計研究。

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