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歐洲啟動Places2Be項目 促進全耗盡絕緣體上硅制造工藝產業化

2013-05-27 來源:國防科技信息網 字號:

歐洲啟動一項為期三年、總投資3.6億歐元(約合4.65億美元)的項目,以促進全耗盡絕緣體上硅(FDSOI)制造工藝在歐洲實現產業化。

該項目名為Places2Be,由在FDSOI工藝領域處于領先地位的意法半導體(ST)公司領導。該項目將在ST位于法國克羅爾市的晶圓廠和格羅方德(GLOBALFOUNDRIES)公司位于德國德累斯頓市的第一生產廠內建立試生產線。

Places2Be是“在歐洲建立2X生產節點先進絕緣體上硅(SOI)互補金屬氧化物半導體(CMOS)工藝試生產線”的簡寫。Places2Be采用超薄體和埋氧氧化層(UTBB)FDSOI技術,該技術可為晶體管提供從低功耗至高速度的調節能力。該項目由歐洲納電子計劃顧問委員會(ENIAC)納米電子學公私聯合工作組(JU)和來自7個國家的19個公司和學術機構聯合組成的公共機構提供支撐。

由于歐盟和國家公共機構資金投放方式的復雜性,暫時無法確定4.65億美元將如何由納稅人提供。從歷史上看,參與歐盟項目的公司最多可得到總支出成本50%的資金支持,大學最多可以得到總成本75%的資金支持。

ST公司表示,Places2Be項目是ENIAC目前最大的一筆資金投入,目標是支持28nmFDSOI試生產線的建立,未來實現歐洲先進制造工藝量產。資金將用于歐洲FDSOI設計與制造生態系統建立,以及支持后續14nm和10nm節點的發展。

FDSOI具備低功耗,高性能、可替代體硅CMOS和FinFET技術等優點,普遍認為將取代體硅CMOS技術。ST公司表示,FDSOI速度更快,溫度更低,且更容易實現;但從目前來看,主要的芯片制造商如英特爾,臺積電和三星公司對此并不認同。ST公司已經在法國克羅爾市開始該技術的研發,第一個FDSOI系統計劃將用于消費電子、高性能計算和網絡。

該項目包括來自7個國家的19個單位,分別是瑞典ACERO公司、阿迪克森真空產品公司、Axiom集成電路公司、Bruco集成電路公司、法國原子能暨替代能源委員會、海豚集成公司、愛立信公司、eSilicon羅馬尼亞公司、ForschungzentrumJuelichGmbh公司、格羅方德公司、格勒諾布爾INP公司、比利時微電子研究中心(IMEC)、離子束服務(IBS)公司、明導圖形法國公司、法國Soitec公司、意法愛立信公司、意法半導體公司、魯汶天主教大學和特文特大學。未來三年計劃有500名工程師參與其中。

(工業和信息化部電子科學技術情報研究所張倩)

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